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英雄联盟宇宙故事: 半導體濕度傳感器工作原理

英雄联盟冠军皮肤 www.uzqdl.icu 發布時間:2010-02-20 17:46:43  來源:資料室    作者:   更新20190910 061222

半導體濕度傳感器:
1. 構造與原理
半導體濕度傳感器的構造大都是由強化型MOS FET與具感濕性樹脂膜所構成,此類組件又稱為CFT(Charge flow transistor)Si半導體濕度傳感器。如圖1所示上面的感濕膜,是一種高阻抗膜如PAPA (Polyamino Phenylacetylene),因水蒸氣而使阻抗減低的物質。

圖1 Charge flow transistor(CFT)的截面構造

以傳感器之工作原理,分別由圖2(a)-(c)說明,(a)圖中 CFT 的閘極(gate)不加電源,漏極(drain)與源極(source)成高阻抗,即開路狀態。(b)圖中將閘極開關切入,閘極變成正電位,正電荷開始向感濕樹脂膜擴散,而對應的Si 半導體中將感應負電荷。(c)圖中經過一段時間后正電荷擴散至全部樹脂膜,而負電荷亦在Si 半導體中形成,于是漏、源極間阻抗變小,FET 導通。而樹脂膜擴散正電荷的能力和濕度有關,濕度高擴散力愈強,相對的感應的負電荷亦提高,于是漏源極的阻抗將降的更低。

圖2 CFT的工作原理

2. 特性
CFT在使用時,一般均將其做成兩個反相器構成振蕩器,以便將相對濕度轉換成量化頻率,由于CFT 體積很小,所以可以和測濕度不可或缺的溫度傳感器,做在同一塊基板上。


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  • 濕度傳感器用途呢? 匿名 于2017-05-03 20:55:16發布
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